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微机械压力传感器装置的制造方法和相应的微机械压力传感器装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201611128415.2
申请日：
2016-12-09
公开(公告)号：
CN106986301B
公开(公告)日：
2017-07-28
发明(设计)人：
武震宇
申请人：
申请人地址：
德国斯图加特
IPC主分类号：
B81C100
IPC分类号：
B81B702 G01L912
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
韩长永
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2017-07-28 公开 公开
2021-10-26 授权 授权
2019-01-08 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20161209
共 50 条
[1]
微机械压力传感器和用于制造微机械压力传感器的方法 [P]. 
F·韦尔克 ;
C·于芬格 ;
D·S·波德别尔 .
德国专利 :CN117664430A ,2024-03-08
[2]
微机械压力传感器以及用于制造微机械压力传感器的方法 [P]. 
A·丹嫩贝格 ;
T·亨 .
中国专利 :CN110476047A ,2019-11-19
[3]
微机械的压力传感器装置和用于制造微机械的压力传感器装置的相应的方法 [P]. 
A.库格勒 ;
A.卢克斯 .
中国专利 :CN109843789A ,2019-06-04
[4]
微机械压力传感器 [P]. 
V·森兹 ;
R·毛尔 ;
T·德盖伊 ;
T·弗里德里希 ;
A·丹嫩贝格 ;
F·卢卡奇 ;
H·格鲁茨埃克 ;
F·霍伊克 ;
M·施瓦茨 .
中国专利 :CN110383027A ,2019-10-25
[5]
微机械压力传感器 [P]. 
F·格拉巴迈尔 ;
E·舍尔克斯 ;
T·林德曼 .
中国专利 :CN107032296B ,2017-08-11
[6]
微机械压力传感器组件和用于制造微机械压力传感器组件的方法 [P]. 
M·克瑙斯 ;
R·屈尔斯 ;
U·席勒 ;
L·绍丹 ;
S·舒勒-瓦特金斯 ;
D·豪格 .
中国专利 :CN111033204A ,2020-04-17
[7]
微机械压力传感器装置以及相应的制造方法 [P]. 
A·克尔布尔 ;
J·赖因穆特 ;
J·克拉森 .
中国专利 :CN104773705A ,2015-07-15
[8]
微机械压力传感器装置以及相应的制造方法 [P]. 
J·克拉森 ;
J·赖因穆特 ;
A·克尔布尔 .
中国专利 :CN105940287A ,2016-09-14
[9]
微机械压力传感器装置以及相应的制造方法 [P]. 
J·克拉森 .
中国专利 :CN106170682A ,2016-11-30
[10]
微机械压力传感器设备和相应的制造方法 [P]. 
T·弗里德里希 ;
J·梅克巴赫 .
德国专利 :CN113227740B ,2024-07-12
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