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一种电化学沉积装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811064470.9
申请日：
2018-09-12
公开(公告)号：
CN109239168B
公开(公告)日：
2019-01-18
发明(设计)人：
陈哲
姜勇
张克维
申请人：
申请人地址：
030024 山西省太原市万柏林区瓦流路66号
IPC主分类号：
G01N2742
IPC分类号：
代理机构：
太原市科瑞达专利代理有限公司 14101
代理人：
赵禛
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-16 | 授权 | 授权 |
| 2019-01-18 | 公开 | 公开 |
| 2019-02-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/42 申请日:20180912 |