缺陷检查装置及缺陷检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910093769.5

申请日：

2019-01-30

公开(公告)号：

CN110896038A

公开(公告)日：

2020-03-20

发明(设计)人：

野岛和弘手塚知秀大西笃志山田一弘野嶋茂树滨口晶

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

杨林勳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20190130
2020-03-20	公开	公开
2022-03-01	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/66 变更事项:申请人变更前:东芝存储器株式会社变更后:铠侠股份有限公司变更事项:地址变更前:日本东京变更后:日本东京

共 50 条

[1]

缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P].

野岛和弘 ;

手塚知秀 ;

大西笃志 ;

山田一弘 ;

野嶋茂树 ;

滨口晶 .

日本专利 :CN110896038B ,2025-06-20

[2]

缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P].

奥山真继 ;

近藤浩史 .

中国专利 :CN101000311A ,2007-07-18

[3]

缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P].

小林信次 ;

松田俊介 .

中国专利 :CN115015281A ,2022-09-06

[4]

缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P].

多田扩太郎 ;

杉浦彰彦 .

中国专利 :CN110959114A ,2020-04-03

[5]

缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P].

大西孝明 .

中国专利 :CN101101266A ,2008-01-09

[6]

缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P].

饭星允规 ;

池田佳士郎 ;

田坂隆弘 ;

小野田繁 .

中国专利 :CN104937408B ,2015-09-23

[7]

缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P].

江川弘一 ;

中田雅博 .

中国专利 :CN103575737B ,2014-02-12

[8]

缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P].

田所彩郁 .

日本专利 :CN118674671A ,2024-09-20

[9]

缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P].

吉田康纪 ;

田窪健二 ;

畠堀贵秀 .

中国专利 :CN114930168A ,2022-08-19

[10]

缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P].

池田佳士郎 ;

田坂隆弘 ;

饭星允规 .

中国专利 :CN104755920A ,2015-07-01

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