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一种砷化镓晶片的位错测定方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110091181.3
申请日
:
2021-01-22
公开(公告)号
:
CN112964710A
公开(公告)日
:
2021-06-15
发明(设计)人
:
傅伟力
许冲
冉东海
李勇
申请人
:
申请人地址
:
404040 重庆市万州区万州经开区高峰园B02
IPC主分类号
:
G01N2184
IPC分类号
:
G01N128
G01N132
代理机构
:
广州市华学知识产权代理有限公司 44245
代理人
:
张晨
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-06-15
公开
公开
2021-11-16
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/84 申请日:20210122
共 50 条
[1]
一种砷化镓多晶的位错腐蚀液及其位错腐蚀方法
[P].
张浩
论文数:
0
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0
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
张浩
;
易明辉
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
易明辉
;
张汪阳
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
张汪阳
.
中国专利
:CN117448001A
,2024-01-26
[2]
一种磷化铟晶片的位错测定方法
[P].
傅伟力
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傅伟力
;
李勇
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李勇
;
刘留
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刘留
;
苏小平
论文数:
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0
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苏小平
.
中国专利
:CN112082992A
,2020-12-15
[3]
一种砷化镓晶片及其制备方法
[P].
任殿胜
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任殿胜
;
朱颂义
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朱颂义
;
赵波
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赵波
;
王建利
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王建利
;
刘岩
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0
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刘岩
;
崔杨洲
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崔杨洲
;
张春宇
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张春宇
.
中国专利
:CN111379027A
,2020-07-07
[4]
一种晶片的位错腐蚀液及位错腐蚀方法
[P].
练小正
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机构:
苏州燎塬半导体有限公司
苏州燎塬半导体有限公司
练小正
;
高洁
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机构:
苏州燎塬半导体有限公司
苏州燎塬半导体有限公司
高洁
;
胡萍
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机构:
苏州燎塬半导体有限公司
苏州燎塬半导体有限公司
胡萍
;
许照原
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机构:
苏州燎塬半导体有限公司
苏州燎塬半导体有限公司
许照原
.
中国专利
:CN116815330B
,2024-07-12
[5]
一种砷化镓晶片背面不良的去除方法
[P].
田玉莲
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田玉莲
;
孙美玉
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孙美玉
;
王国超
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王国超
;
周铁军
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周铁军
;
曾贵州
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曾贵州
;
王金灵
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0
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0
王金灵
.
中国专利
:CN115050630A
,2022-09-13
[6]
切割砷化镓初始晶片的方法及制备砷化镓晶片的方法
[P].
刘丽杰
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0
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刘丽杰
;
洪庆福
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洪庆福
;
赵波
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赵波
;
王元立
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王元立
;
刘文森
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0
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0
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刘文森
.
中国专利
:CN105082376A
,2015-11-25
[7]
一种砷化镓晶片生产废水中镓的测定方法
[P].
刘静静
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刘静静
;
边振涛
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边振涛
;
赵坤
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赵坤
;
齐白羽
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齐白羽
;
路军兵
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路军兵
;
邓永怀
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邓永怀
;
卢昌祥
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卢昌祥
;
王卓
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王卓
;
侯雪
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侯雪
;
高正娇
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高正娇
;
赵和存
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赵和存
;
杨卓融
论文数:
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0
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0
杨卓融
.
中国专利
:CN113390804A
,2021-09-14
[8]
一种砷化镓单晶位错坑的腐蚀方法及腐蚀液配方
[P].
刘国军
论文数:
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0
刘国军
;
肖亚东
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肖亚东
;
段静芳
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段静芳
;
谈笑天
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谈笑天
.
中国专利
:CN109023531A
,2018-12-18
[9]
改进砷化镓晶片表面质量的方法
[P].
王永净
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王永净
;
陈基生
论文数:
0
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陈基生
.
中国专利
:CN114944334A
,2022-08-26
[10]
一种砷化镓单晶片清洗的方法
[P].
杨艺
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杨艺
;
曹志颖
论文数:
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曹志颖
.
中国专利
:CN106000977A
,2016-10-12
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