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一种改进的晶圆测试装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122297191.0
申请日：
2021-09-22
公开(公告)号：
CN215833456U
公开(公告)日：
2022-02-15
发明(设计)人：
杨兆明
曾春耕
张鲲
申请人：
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号内主办公楼3楼370室
IPC主分类号：
G01R104
IPC分类号：
G01R3126
代理机构：
浙江永航联科专利代理有限公司 33304
代理人：
蔡鼎
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-15 | 授权 | 授权 |