一种可以改善半导体晶片几何参数的晶片加工方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200410096842.8
申请日
2004-12-08
公开(公告)号
CN100392818C
公开(公告)日
2006-06-14
发明(设计)人
林健 徐永宽 刘玉岭 刘春香 杨洪星 吕菲
申请人
申请人地址
300220天津市河西区陈塘庄岩峰路一号
IPC主分类号
H01L21304
IPC分类号
B24B100 B24B3704
代理机构
信息产业部电子专利中心
代理人
吴永亮
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
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大仓雅人 .
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[2]
半导体晶片加工用胶带和半导体晶片的加工方法 [P]. 
冈祥文 ;
内山具朗 .
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[3]
半导体晶片的加工方法、加工装置以及半导体晶片 [P]. 
田久真也 ;
清水纪子 ;
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[4]
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[5]
加工半导体晶片的方法、半导体晶片、夹和半导体器件 [P]. 
C·范柯林斯基 ;
D·佩多内 ;
M·皮钦 ;
R·鲁普 ;
戴秋莉 ;
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:CN113451155B ,2025-12-16
[6]
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[7]
半导体晶片的加工方法 [P]. 
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[8]
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[9]
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[10]
半导体晶片的加工方法 [P]. 
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