金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201220672829.2
申请日
2012-12-07
公开(公告)号
CN203002693U
公开(公告)日
2013-06-19
发明(设计)人
尹辰 李淑丽 赵可武 张骏凯 高攀红 左亚莲
申请人
申请人地址
710100 陕西省西安市长安区航天中路388号
IPC主分类号
B08B312
IPC分类号
B08B310 B08B302 B08B314
代理机构
西安弘理专利事务所 61214
代理人
罗笛
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置 [P]. 
邹文龙 ;
张力峰 .
中国专利 :CN215997737U ,2022-03-11
[2]
金刚线切割单晶硅片快速清洗制绒工艺 [P]. 
陈刚刚 ;
安百俊 ;
李归利 ;
崔智秋 .
中国专利 :CN105914259A ,2016-08-31
[3]
单晶硅片清洗装置 [P]. 
曹建鸿 .
中国专利 :CN106955864A ,2017-07-18
[4]
金刚线切割硅片清洗装置 [P]. 
周文广 .
中国专利 :CN207013368U ,2018-02-16
[5]
单晶硅片清洗装置 [P]. 
朱玲 ;
朱汪龙 ;
王兰 .
中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20
[6]
单晶硅片清洗装置 [P]. 
牛龙 ;
王文 ;
童林剑 ;
张斌 ;
胡亚东 ;
董典谟 ;
樊帅 .
中国专利 :CN203508507U ,2014-04-02
[7]
单晶硅片清洗装置 [P]. 
向菊 .
中国专利 :CN213079309U ,2021-04-30
[8]
一种单晶硅片用线切割机清洗装置 [P]. 
周伟平 .
中国专利 :CN109570107A ,2019-04-05
[9]
一种脱胶前单晶硅片的清洗装置 [P]. 
陈吉祥 ;
李竞宇 ;
张建国 .
中国专利 :CN203648897U ,2014-06-18
[10]
单晶硅片的清洗装置 [P]. 
邱小永 .
中国专利 :CN208495075U ,2019-02-15