一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121568484.1

申请日：

2021-07-12

公开(公告)号：

CN215997737U

公开(公告)日：

2022-03-11

发明(设计)人：

邹文龙张力峰

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B314 B08B1300

代理机构：

苏州国卓知识产权代理有限公司 32331

代理人：

周鑫

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-11	授权	授权

共 50 条

[1]

金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置 [P].

尹辰 ;

李淑丽 ;

赵可武 ;

张骏凯 ;

高攀红 ;

左亚莲 .

中国专利 :CN203002693U ,2013-06-19

[2]

金刚线切割单晶硅片快速清洗制绒工艺 [P].

陈刚刚 ;

安百俊 ;

李归利 ;

崔智秋 .

中国专利 :CN105914259A ,2016-08-31

[3]

单晶硅片清洗装置 [P].

向菊 .

中国专利 :CN213079309U ,2021-04-30

[4]

一种脱胶前单晶硅片的清洗装置 [P].

陈吉祥 ;

李竞宇 ;

张建国 .

中国专利 :CN203648897U ,2014-06-18

[5]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206838660U ,2018-01-05

[6]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

季海斌 ;

王刚 .

中国专利 :CN220697639U ,2024-04-02

[7]

一种超薄单晶硅片线切割装置 [P].

葛相麟 ;

戴建俊 ;

李义 .

中国专利 :CN202120926U ,2012-01-18

[8]

一种超薄单晶硅片线切割装置 [P].

邹文龙 ;

张力峰 .

中国专利 :CN216099761U ,2022-03-22

[9]

金刚线切割硅片清洗装置 [P].

周文广 .

中国专利 :CN207013368U ,2018-02-16

[10]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

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