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一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121568484.1
申请日：
2021-07-12
公开(公告)号：
CN215997737U
公开(公告)日：
2022-03-11
发明(设计)人：
邹文龙
张力峰
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
B08B314
B08B1300
代理机构：
苏州国卓知识产权代理有限公司 32331
代理人：
周鑫
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-11 | 授权 | 授权 |