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一种单晶硅片清洗装置及工艺
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010755906.X
申请日：
2020-07-31
公开(公告)号：
CN111842330A
公开(公告)日：
2020-10-30
发明(设计)人：
杨超
王艺澄
申请人：
申请人地址：
212215 江苏省镇江市扬中经济开发区港隆路968号
IPC主分类号：
B08B312
IPC分类号：
B08B308
B08B1300
代理机构：
南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人：
马严龙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20200731 |
| 2022-02-01 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):B08B 3/12 变更事项:申请人 变更前:江苏美科太阳能科技有限公司 变更后:江苏美科太阳能科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:212200 江苏省镇江市扬中经济开发区光明路198号 变更后:212200 江苏省镇江市扬中经济开发区光明路198号 |
| 2021-01-05 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):B08B 3/12 变更事项:申请人 变更前:江苏高照新能源发展有限公司 变更后:江苏美科太阳能科技有限公司 变更事项:地址 变更前:212215 江苏省镇江市扬中经济开发区港隆路968号 变更后:212200 江苏省镇江市扬中经济开发区光明路198号 |
| 2020-10-30 | 公开 | 公开 |