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一种单晶硅片清洗装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120234052.0
申请日：
2021-01-27
公开(公告)号：
CN214718938U
公开(公告)日：
2021-11-16
发明(设计)人：
陈创
申请人：
申请人地址：
221000 江苏省徐州市经济技术开发区科技创业园B区B5号
IPC主分类号：
B08B312
IPC分类号：
B08B308 B08B310 B08B1300 F26B2100 H01L2167
代理机构：
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489
代理人：
李延峰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-11-16 授权 授权
共 50 条
[1]
单晶硅片清洗装置 [P]. 
朱玲 ;
朱汪龙 ;
王兰 .
中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20
[2]
单晶硅片清洗装置 [P]. 
向菊 .
中国专利 :CN213079309U ,2021-04-30
[3]
一种单晶硅片清洗装置 [P]. 
陈子轩 ;
孔繁政 ;
陈亚男 .
中国专利 :CN218361035U ,2023-01-24
[4]
一种单晶硅片清洗装置 [P]. 
李文 .
中国专利 :CN217990231U ,2022-12-09
[5]
一种单晶硅片清洗装置 [P]. 
李秀春 .
中国专利 :CN206838660U ,2018-01-05
[6]
一种单晶硅片清洗装置 [P]. 
王磊 ;
唐磊 ;
朱姚培 ;
朱洁 .
中国专利 :CN209935371U ,2020-01-14
[7]
一种单晶硅片清洗装置 [P]. 
光善如 ;
程世显 ;
熊文金 .
中国专利 :CN216937348U ,2022-07-12
[8]
一种单晶硅片清洗装置 [P]. 
季海斌 ;
王刚 .
中国专利 :CN220697639U ,2024-04-02
[9]
一种单晶硅片清洗装置 [P]. 
周伟南 .
中国专利 :CN202034357U ,2011-11-09
[10]
单晶硅片的清洗装置 [P]. 
邱小永 .
中国专利 :CN208495075U ,2019-02-15
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