一种单晶硅片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920604726.4

申请日：

2019-04-29

公开(公告)号：

CN209935371U

公开(公告)日：

2020-01-14

发明(设计)人：

王磊唐磊朱姚培朱洁

申请人：

申请人地址：

223700 江苏省宿迁市泗阳县经济开发区长江路3号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B102 B08B308 B08B1300 H01L2167

代理机构：

宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264

代理人：

许重要

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-14	授权	授权
2022-04-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20190429 授权公告日:20200114 终止日期:20210429

共 50 条

[1]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218361035U ,2023-01-24

[2]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[3]

单晶硅片清洗装置 [P].

向菊 .

中国专利 :CN213079309U ,2021-04-30

[4]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

陈创 .

中国专利 :CN214718938U ,2021-11-16

[5]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

李文 .

中国专利 :CN217990231U ,2022-12-09

[6]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206838660U ,2018-01-05

[7]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

光善如 ;

程世显 ;

熊文金 .

中国专利 :CN216937348U ,2022-07-12

[8]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

季海斌 ;

王刚 .

中国专利 :CN220697639U ,2024-04-02

[9]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

周伟南 .

中国专利 :CN202034357U ,2011-11-09

[10]

单晶硅片的清洗装置 [P].

邱小永 .

中国专利 :CN208495075U ,2019-02-15

← 1 2 3 4 5 →