一种单晶硅片清洗装置

被引：0

申请号：

CN202222149493.8

申请日：

2022-08-16

公开(公告)号：

CN217990231U

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

李文

申请人：

申请人地址：

224400 江苏省盐城市阜宁经济开发区香港路888号

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B310 B08B1300 H01L2167

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

柏尚春

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218361035U ,2023-01-24

[2]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[3]

单晶硅片清洗装置 [P].

曹建鸿 .

中国专利 :CN106955864A ,2017-07-18

[4]

单晶硅片清洗装置 [P].

向菊 .

中国专利 :CN213079309U ,2021-04-30

[5]

一种单晶硅片的清洗装置 [P].

严循成 .

中国专利 :CN218498029U ,2023-02-17

[6]

一种单晶硅片的清洗装置 [P].

刘德超 ;

张娟宁 ;

张利升 ;

杨凯文 ;

刘丽君 .

中国专利 :CN220444521U ,2024-02-06

[7]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

陈创 .

中国专利 :CN214718938U ,2021-11-16

[8]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206838660U ,2018-01-05

[9]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

王磊 ;

唐磊 ;

朱姚培 ;

朱洁 .

中国专利 :CN209935371U ,2020-01-14

[10]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

光善如 ;

程世显 ;

熊文金 .

中国专利 :CN216937348U ,2022-07-12

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