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一种单晶硅片的清洗装置
被引：0
申请号：
CN202222471308.7
申请日：
2022-09-19
公开(公告)号：
CN218498029U
公开(公告)日：
2023-02-17
发明(设计)人：
严循成
申请人：
申请人地址：
223600 江苏省宿迁市沭阳县经济开发区瑞声大道8号院内2号厂房
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
B08B104
B08B1300
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-17 | 授权 | 授权 |