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一种用于单晶硅片清洗的清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821360040.7
申请日：
2018-08-22
公开(公告)号：
CN208938929U
公开(公告)日：
2019-06-04
发明(设计)人：
陈峰
申请人：
申请人地址：
324000 浙江省衢州市开化县华埠镇银辉路5号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
昆明合众智信知识产权事务所 53113
代理人：
钱磊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-04 | 授权 | 授权 |
| 2021-07-30 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180822 授权公告日:20190604 终止日期:20200822 |