一种晶圆工作台清洁系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821544430.X

申请日：

2018-09-19

公开(公告)号：

CN208737219U

公开(公告)日：

2019-04-12

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆工作台清洁系统及清洁方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110928143A ,2020-03-27

[2]

一种晶圆移动工作台 [P].

郑烽 ;

郑思海 ;

江利雄 ;

吴育洪 .

中国专利 :CN221551855U ,2024-08-16

[3]

一种晶圆挑晶工作台 [P].

殷泽安 .

中国专利 :CN223401571U ,2025-09-30

[4]

一种晶圆工作台结构及探针台 [P].

林生财 ;

魏纯 ;

肖乐 ;

林武林 .

中国专利 :CN210429742U ,2020-04-28

[5]

一种晶圆切割工作台 [P].

莫康 ;

周志豪 ;

王海呈 ;

李贤途 ;

刘亚彬 ;

李志宇 .

中国专利 :CN216400147U ,2022-04-29

[6]

一种尺寸可调式晶圆工作台 [P].

宋杰 .

中国专利 :CN212010932U ,2020-11-24

[7]

晶圆工作台、光刻机及晶圆工作台温度调节方法 [P].

金成昱 ;

金帅炯 ;

梁贤石 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

杨涛 ;

李亭亭 .

中国专利 :CN114518690A ,2022-05-20

[8]

一种新型晶圆清洗工作台 [P].

李丰 ;

杨朋吕 ;

赵旭梅 .

中国专利 :CN213424942U ,2021-06-11

[9]

一种晶圆工作台用偏差矫正机构 [P].

沈吉 ;

陈诚 ;

汤介峰 ;

荆泉 ;

陈力钧 .

中国专利 :CN218471920U ,2023-02-10

[10]

一种焊圆工作台 [P].

闵齐齐 ;

胡宏阳 .

中国专利 :CN209754421U ,2019-12-10

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