一种晶圆挑晶工作台

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422528649.2
申请日
2024-10-18
公开(公告)号
CN223401571U
公开(公告)日
2025-09-30
发明(设计)人
殷泽安
申请人
苏州译品芯半导体有限公司
申请人地址
215000 江苏省苏州市相城区黄埭镇春旺路12号
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
H01L21/687
代理机构
北京鼎云升知识产权代理事务所(普通合伙) 11495
代理人
杜鹏举
法律状态
授权
国省代码
江苏省 苏州市
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共 50 条
[1]
一种晶圆切割工作台 [P]. 
莫康 ;
周志豪 ;
王海呈 ;
李贤途 ;
刘亚彬 ;
李志宇 .
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[2]
一种晶圆移动工作台 [P]. 
郑烽 ;
郑思海 ;
江利雄 ;
吴育洪 .
中国专利 :CN221551855U ,2024-08-16
[3]
一种新型晶圆清洗工作台 [P]. 
李丰 ;
杨朋吕 ;
赵旭梅 .
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[4]
一种晶圆工作台清洁系统 [P]. 
不公告发明人 .
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[5]
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林生财 ;
魏纯 ;
肖乐 ;
林武林 .
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[6]
晶圆工作台、光刻机及晶圆工作台温度调节方法 [P]. 
金成昱 ;
金帅炯 ;
梁贤石 ;
贺晓彬 ;
刘金彪 ;
杨涛 ;
李亭亭 .
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[7]
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[8]
磨削工作台和晶圆磨削设备 [P]. 
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请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
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[9]
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温琰 ;
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[10]
一种防掉落的晶圆打点工作台 [P]. 
张彦锋 ;
乔立宝 ;
于文奇 .
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