一种固晶机用的晶圆移动平面工作台

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022956925.7
申请日
2020-12-09
公开(公告)号
CN213691994U
公开(公告)日
2021-07-13
发明(设计)人
朱辉 温琰 朱杰
申请人
申请人地址
518101 广东省深圳市宝安区西乡街道银田路4号华丰宝安智谷科技创新园E座三楼308室
IPC主分类号
H01L21687
IPC分类号
H01L2167
代理机构
合肥汇融专利代理有限公司 34141
代理人
朱朝明
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种固晶机用框架输送工作台 [P]. 
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温炜 ;
朱辉 .
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[2]
一种晶圆挑晶工作台 [P]. 
殷泽安 .
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[3]
一种晶圆移动工作台 [P]. 
郑烽 ;
郑思海 ;
江利雄 ;
吴育洪 .
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[4]
一种固晶机工作台 [P]. 
张克辉 .
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[5]
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[6]
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张先兵 ;
徐林 ;
张凤齐 ;
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张传喜 ;
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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