一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换装置与方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110378061.8

申请日：

2011-11-12

公开(公告)号：

CN102393612A

公开(公告)日：

2012-03-28

发明(设计)人：

谭久彬马伟崔继文金国良

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101242110551 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011103780618 申请日:20111112
2012-03-28	公开	公开
2014-02-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

马伟 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102419517B ,2012-04-18

[2]

一种过梁式步进扫描和三节拍双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

王绍凯 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102495530B ,2012-06-13

[3]

过梁式单/双导轨双驱步进扫描双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

王绍凯 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102393609B ,2012-03-28

[4]

基于单/双驱步进扫描的双工件台外侧交换装置 [P].

谭久彬 ;

崔继文 ;

马伟 ;

金国良 .

中国专利 :CN102495532A ,2012-06-13

[5]

一种基于单/双驱动步进扫描的双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

马伟 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102495527A ,2012-06-13

[6]

一种基于双驱双桥换台工位的双工件台高精度交换装置 [P].

谭久彬 ;

王雷 ;

王威 ;

杨远源 .

中国专利 :CN101963763A ,2011-02-02

[7]

一种过梁式双导轨双驱步进扫描双硅片台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

王绍凯 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102495529A ,2012-06-13

[8]

基于并联机构的双工件台同相位回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刘永猛 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102402133A ,2012-04-04

[9]

一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置 [P].

谭久彬 ;

杨远源 ;

王雷 .

中国专利 :CN102393613A ,2012-03-28

[10]

基于线缆盒防转机构的双工件台回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

闻荣伟 ;

刘永猛 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102520587B ,2012-06-27

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