基于单/双驱步进扫描的双工件台外侧交换装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110378074.5

申请日：

2011-11-12

公开(公告)号：

CN102495532A

公开(公告)日：

2012-06-13

发明(设计)人：

谭久彬崔继文马伟金国良

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2167 H01L21677

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101298512345 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011103780745 申请日:20111112
2014-03-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101699288717 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011103780745 申请公布日:20120613
2012-06-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

马伟 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102419517B ,2012-04-18

[2]

一种基于单/双驱动步进扫描的双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

马伟 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102495527A ,2012-06-13

[3]

过梁式单/双导轨双驱步进扫描双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

王绍凯 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102393609B ,2012-03-28

[4]

一种基于双驱双桥换台工位的双工件台高精度交换装置 [P].

谭久彬 ;

王雷 ;

王威 ;

杨远源 .

中国专利 :CN101963763A ,2011-02-02

[5]

一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

马伟 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102393612A ,2012-03-28

[6]

一种过梁式步进扫描和三节拍双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

王绍凯 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102495530B ,2012-06-13

[7]

一种过梁式双导轨双驱步进扫描双硅片台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

王绍凯 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102495529A ,2012-06-13

[8]

一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置 [P].

谭久彬 ;

杨远源 ;

王雷 .

中国专利 :CN102393613A ,2012-03-28

[9]

嵌入式共基面二维平衡双驱双工件台定位系统 [P].

谭久彬 ;

张山 ;

王雷 .

中国专利 :CN101408732A ,2009-04-15

[10]

一种基于测量位自转调向的双工件台回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

王雷 ;

杨远源 .

中国专利 :CN102393608B ,2012-03-28

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