一种可控硅纳米线阵列的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210008202.1

申请日：

2012-01-12

公开(公告)号：

CN103208413A

公开(公告)日：

2013-07-17

发明(设计)人：

狄增峰陈龙魏星张苗王曦

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101749214054 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2012100082021 申请公布日:20130717
2013-08-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101506926267 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2012100082021 申请日:20120112
2013-07-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种二维平面内可控硅纳米线阵列的制作方法 [P].

易红 ;

袁志山 ;

陈云飞 ;

倪中华 .

中国专利 :CN104505335A ,2015-04-08

[2]

硅纳米线阵列的制备方法 [P].

李亚丽 ;

王艳周 ;

栗军帅 .

中国专利 :CN106409653B ,2017-02-15

[3]

硅纳米线阵列的制备方法 [P].

尹明汉 ;

李世宁 .

中国专利 :CN105555705B ,2016-05-04

[4]

制备硅纳米线阵列的方法 [P].

陶斯禄 ;

蒋一岚 ;

周春 .

中国专利 :CN102560493B ,2012-07-11

[5]

一种有序硅纳米线阵列的制备方法 [P].

左则文 .

中国专利 :CN103112819A ,2013-05-22

[6]

一种双面硅纳米线阵列的制备方法 [P].

丁建宁 ;

张福庆 ;

郭立强 ;

程广贵 ;

凌智勇 ;

张忠强 ;

杨娟 ;

孙东健 .

中国专利 :CN102556953A ,2012-07-11

[7]

一种硅纳米线阵列的制备方法 [P].

范春晖 ;

王全 .

中国专利 :CN102945791B ,2013-02-27

[8]

一种硅纳米线阵列的制备方法 [P].

黄智鹏 ;

朱静 .

中国专利 :CN100491233C ,2007-01-03

[9]

一种硅纳米线阵列的制备方法 [P].

彭奎庆 ;

李述汤 .

中国专利 :CN101302118A ,2008-11-12

[10]

有序硅纳米线阵列的制备方法 [P].

吴摞 ;

叶长辉 .

中国专利 :CN102642807A ,2012-08-22

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