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硅纳米线阵列的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610197758.8
申请日：
2016-03-31
公开(公告)号：
CN106409653B
公开(公告)日：
2017-02-15
发明(设计)人：
李亚丽
王艳周
栗军帅
申请人：
申请人地址：
730000 甘肃省兰州市城关区天水南路222号
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
代理机构：
北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249
代理人：
刘洪京
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-02-15 | 公开 | 公开 |
| 2021-04-09 | 授权 | 授权 |
| 2018-08-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20160331 |