一种晶圆撕膜装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202121248602.0
申请日
2021-06-04
公开(公告)号
CN214824786U
公开(公告)日
2021-11-23
发明(设计)人
巩铁建 陶为银 蔡正道 乔赛赛
申请人
申请人地址
450000 河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号楼一楼A130-10号
IPC主分类号
B65B6900
IPC分类号
代理机构
郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173
代理人
乔俊霞
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆保护膜撕膜装置 [P]. 
唐寒风 ;
范志平 ;
彭家建 .
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[2]
一种晶圆撕膜装置 [P]. 
黄运军 .
中国专利 :CN222728448U ,2025-04-08
[3]
一种TAIKO晶圆撕膜装置 [P]. 
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袁泉 .
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[4]
一种用于晶圆的贴膜装置和撕膜装置 [P]. 
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[5]
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王建勋 ;
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蔡统生 .
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[6]
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许亮亮 ;
邱国良 ;
杜荣钦 ;
胡格 ;
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李善基 ;
尹建刚 ;
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[7]
一种晶圆撕胶废膜回收装置 [P]. 
陈志远 ;
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孟强 ;
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[8]
一种晶圆撕膜机 [P]. 
黄运军 .
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[9]
一种晶圆撕膜机的撕膜机构 [P]. 
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[10]
一种晶圆膜的撕膜机构 [P]. 
葛春华 ;
陆宁宁 ;
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