共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种用于晶圆的贴膜装置和撕膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621415355.8
申请日：
2016-12-21
公开(公告)号：
CN206271675U
公开(公告)日：
2017-06-20
发明(设计)人：
吴俊
熊强
申请人：
申请人地址：
519000 广东省珠海市南屏科技工业园屏西七路5号B栋一楼之9厂房
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
珠海智专专利商标代理有限公司 44262
代理人：
黄国豪
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-06-20 | 授权 | 授权 |