一种金属散热片的双面蚀刻装置及蚀刻工艺

被引：0

申请号：

CN202210445712.9

申请日：

2022-04-26

公开(公告)号：

CN114807938A

公开(公告)日：

2022-07-29

发明(设计)人：

王文涛张亮旗王世权张帆

申请人：

申请人地址：

225600 江苏省扬州市高邮经济开发区波司登大道南侧3号

IPC主分类号：

C23F102

IPC分类号：

C23F108

代理机构：

广东科言知识产权代理事务所(普通合伙) 44671

代理人：

卢斌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	公开	公开
2022-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/02 申请日:20220426

共 50 条

[1]

一种金属散热片的蚀刻工艺 [P].

王友春 ;

张亮旗 ;

张帆 ;

汪凤明 .

中国专利 :CN120556033A ,2025-08-29

[2]

超薄金属散热片的蚀刻工艺 [P].

吴玉涛 ;

熊道安 ;

张卫 .

中国专利 :CN119615345A ,2025-03-14

[3]

一种超薄金属散热片的蚀刻工艺 [P].

王文涛 ;

张亮旗 ;

王世权 ;

张帆 .

中国专利 :CN114864413A ,2022-08-05

[4]

蚀刻装置及蚀刻工艺 [P].

冀卫荣 ;

林琼辉 ;

冉彦祥 .

中国专利 :CN102978622A ,2013-03-20

[5]

蚀刻装置及蚀刻工艺 [P].

林琼辉 ;

冀卫荣 ;

罗春泉 .

中国专利 :CN102912348A ,2013-02-06

[6]

一种散热板双面异深蚀刻工艺 [P].

王文涛 ;

张亮旗 ;

王友春 ;

覃邵鸿 .

中国专利 :CN120758880A ,2025-10-10

[7]

一种散热片干湿法复合蚀刻工艺及设备 [P].

王文涛 ;

张亮旗 ;

王友春 ;

覃邵鸿 .

中国专利 :CN120866822A ,2025-10-31

[8]

一种用于SiCoNi蚀刻工艺的蚀刻装置 [P].

雷通 ;

易海兰 ;

钟斌 .

中国专利 :CN104377107A ,2015-02-25

[9]

一种金属标牌的蚀刻工艺 [P].

葛成镇 ;

罗文星 .

中国专利 :CN102220583A ,2011-10-19

[10]

一种精密蚀刻模组及精密蚀刻装置及其装置的蚀刻工艺 [P].

江德馨 ;

刘鹏 .

中国专利 :CN114150316A ,2022-03-08

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