一种氧化铪基铁电薄膜的制备工艺

被引：0

申请号：

CN202210486187.5

申请日：

2022-05-06

公开(公告)号：

CN114864558A

公开(公告)日：

2022-08-05

发明(设计)人：

廖佳佳周益春郝璞琪廖敏

申请人：

申请人地址：

710126 陕西省西安市长安区西沣路兴隆段266号

IPC主分类号：

H01L2364

IPC分类号：

C23C1408 C23C1435 C23C1458 H01L2711502 H01L4902

代理机构：

北京盛询知识产权代理有限公司 11901

代理人：

李艳芬

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/64 申请日:20220506
2022-08-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铪基铁电薄膜的制备方法 [P].

翟明龙 ;

黄凯亮 ;

孙兵 ;

赵妙 ;

常虎东 ;

刘洪刚 .

中国专利 :CN110890272A ,2020-03-17

[2]

氧化铪基铁电薄膜和氧化铪基铁电薄膜制备方法 [P].

廖敏 ;

戴思维 ;

郇延伟 ;

刘晨 ;

曾斌建 ;

周益春 .

中国专利 :CN112151602A ,2020-12-29

[3]

一种铈掺氧化铪基铁电薄膜的制备方法及铁电薄膜 [P].

姜杰 ;

彭俊泓 ;

姜楠 ;

王俊辉 ;

高文波 ;

黄欣然 .

中国专利 :CN120383476A ,2025-07-29

[4]

一种氧化铪基铁电薄膜的制备方法 [P].

廖佳佳 ;

杨婉贞 ;

周益春 ;

廖敏 ;

曾斌建 .

中国专利 :CN111554568A ,2020-08-18

[5]

一种氧化铪基铁电薄膜及其制备方法 [P].

郑帅至 ;

彭朝 ;

曾斌建 ;

廖敏 ;

刘洲洋 .

中国专利 :CN118510285A ,2024-08-16

[6]

一种柔性氧化铪基铁电薄膜的制备方法 [P].

姜杰 ;

周益春 ;

涂楠英 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN108039408A ,2018-05-15

[7]

一种氧化铪基铁电薄膜电容的性能优化方法 [P].

廖敏 ;

罗梓綦 ;

曾斌建 ;

郑帅至 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN116110720B ,2024-05-31

[8]

一种共掺杂氧化铪基铁电薄膜及其制备方法 [P].

尹路 ;

赵影 ;

何思嘉 ;

谢小艳 .

中国专利 :CN118610198A ,2024-09-06

[9]

一种氧化铪基铁电薄膜、制备方法及应用 [P].

贾婷婷 ;

戴文斌 ;

蔡亚丽 ;

于淑会 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN114400179B ,2025-10-17

[10]

一种氧化铪基铁电电容及其制备方法 [P].

廖敏 ;

曾斌建 ;

周益春 ;

廖佳佳 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN113948520A ,2022-01-18

← 1 2 3 4 5 →