氧化铪基铁电薄膜和氧化铪基铁电薄膜制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010941513.8

申请日：

2020-09-09

公开(公告)号：

CN112151602A

公开(公告)日：

2020-12-29

发明(设计)人：

廖敏戴思维郇延伟刘晨曾斌建周益春

申请人：

申请人地址：

411100 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘27号

IPC主分类号：

H01L2951

IPC分类号：

H01L2128 H01L21336 B82Y4000 B82Y3000 B82Y1000

代理机构：

北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489

代理人：

郑久兴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-29	公开	公开
2021-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/51 申请日:20200909

共 50 条

[1]

一种氧化铪基铁电薄膜及其制备方法 [P].

郑帅至 ;

彭朝 ;

曾斌建 ;

廖敏 ;

刘洲洋 .

中国专利 :CN118510285A ,2024-08-16

[2]

一种氧化铪基铁电薄膜的制备方法 [P].

翟明龙 ;

黄凯亮 ;

孙兵 ;

赵妙 ;

常虎东 ;

刘洪刚 .

中国专利 :CN110890272A ,2020-03-17

[3]

一种氧化铪基铁电薄膜的制备方法 [P].

廖佳佳 ;

杨婉贞 ;

周益春 ;

廖敏 ;

曾斌建 .

中国专利 :CN111554568A ,2020-08-18

[4]

一种铈掺氧化铪基铁电薄膜的制备方法及铁电薄膜 [P].

姜杰 ;

彭俊泓 ;

姜楠 ;

王俊辉 ;

高文波 ;

黄欣然 .

中国专利 :CN120383476A ,2025-07-29

[5]

一种氧化铪基铁电薄膜的制备工艺 [P].

廖佳佳 ;

周益春 ;

郝璞琪 ;

廖敏 .

中国专利 :CN114864558A ,2022-08-05

[6]

一种氧化铪基铁电薄膜、制备方法及应用 [P].

贾婷婷 ;

戴文斌 ;

蔡亚丽 ;

于淑会 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN114400179B ,2025-10-17

[7]

一种柔性氧化铪基铁电薄膜的制备方法 [P].

姜杰 ;

周益春 ;

涂楠英 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN108039408A ,2018-05-15

[8]

铪基铁电薄膜及其制备方法和应用 [P].

张幸 ;

朱江波 ;

严朗 ;

陈基快 ;

张斌 ;

田逸君 ;

陶必林 ;

化鼎棋 .

中国专利 :CN120916448A ,2025-11-07

[9]

一种共掺杂氧化铪基铁电薄膜及其制备方法 [P].

尹路 ;

赵影 ;

何思嘉 ;

谢小艳 .

中国专利 :CN118610198A ,2024-09-06

[10]

一种氧化铪基铁电薄膜的掺杂改性方法 [P].

吴茂坤 ;

纪志罡 ;

叶盛 .

中国专利 :CN118984646A ,2024-11-19

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