一种旋转靶材的绑定密封结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121203926.2

申请日：

2021-05-31

公开(公告)号：

CN215103501U

公开(公告)日：

2021-12-10

发明(设计)人：

雷雨周志宏肖世洪周昭宇汪政军刘芳

申请人：

申请人地址：

510880 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

广州永华专利代理有限公司 44478

代理人：

唐立辉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种旋转靶材的绑定密封结构 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

汪政军 ;

刘芳 .

中国专利 :CN113136555A ,2021-07-20

[2]

一种旋转靶材的绑定密封结构 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

汪政军 ;

刘芳 .

中国专利 :CN113136555B ,2024-12-13

[3]

一种旋转靶材交叠式绑定缝隙结构 [P].

骆树立 ;

李庆丰 ;

王建堂 ;

骆如河 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 ;

骆利军 ;

王壮伟 ;

骆胜凯 ;

骆胜喜 .

中国专利 :CN217997304U ,2022-12-09

[4]

旋转靶材的绑定加热装置 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

汪政军 ;

刘芳 .

中国专利 :CN214881802U ,2021-11-26

[5]

一种绑定旋转靶材以及用于绑定该靶材的密封组件 [P].

施玉良 ;

徐文斌 ;

王海琴 .

中国专利 :CN223342805U ,2025-09-16

[6]

一种绕线绑定式旋转靶材 [P].

周昭宇 ;

周志宏 ;

汪政军 ;

雷雨 ;

刘芳 .

中国专利 :CN215103500U ,2021-12-10

[7]

冷绑定式磁控溅射旋转靶材 [P].

周昭宇 ;

周志宏 .

中国专利 :CN214881801U ,2021-11-26

[8]

具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

汪政军 ;

刘芳 .

中国专利 :CN214881800U ,2021-11-26

[9]

一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

汪政军 ;

刘芳 .

中国专利 :CN215050656U ,2021-12-07

[10]

一种旋转靶材的垂直绑定结构 [P].

高明 ;

张花蕊 ;

张虎 ;

陈浩杰 .

中国专利 :CN211079319U ,2020-07-24

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