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一种旋转靶材的垂直绑定结构
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201921931859.9
申请日
:
2019-11-11
公开(公告)号
:
CN211079319U
公开(公告)日
:
2020-07-24
发明(设计)人
:
高明
张花蕊
张虎
陈浩杰
申请人
:
申请人地址
:
100089 北京市海淀区学院路35号世宁大厦14层1408-036号
IPC主分类号
:
C23C1435
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
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:
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法律状态
法律状态信息
2020-07-24
授权
授权
共 50 条
[1]
一种旋转靶材的垂直绑定结构以及绑定方法
[P].
高明
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机构:
北京东方鼎鑫科技有限公司
北京东方鼎鑫科技有限公司
高明
;
张花蕊
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北京东方鼎鑫科技有限公司
北京东方鼎鑫科技有限公司
张花蕊
;
张虎
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机构:
北京东方鼎鑫科技有限公司
北京东方鼎鑫科技有限公司
张虎
;
陈浩杰
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机构:
北京东方鼎鑫科技有限公司
北京东方鼎鑫科技有限公司
陈浩杰
.
中国专利
:CN110684955B
,2024-03-15
[2]
一种旋转靶材的垂直绑定结构以及绑定方法
[P].
高明
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高明
;
张花蕊
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张花蕊
;
张虎
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张虎
;
陈浩杰
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陈浩杰
.
中国专利
:CN110684955A
,2020-01-14
[3]
一种旋转靶材的垂直绑定装置
[P].
高明
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高明
;
张花蕊
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张花蕊
;
张虎
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张虎
;
陈浩杰
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陈浩杰
.
中国专利
:CN210314468U
,2020-04-14
[4]
一种旋转靶材的绑定密封结构
[P].
雷雨
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雷雨
;
周志宏
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周志宏
;
肖世洪
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肖世洪
;
周昭宇
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周昭宇
;
汪政军
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汪政军
;
刘芳
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刘芳
.
中国专利
:CN215103501U
,2021-12-10
[5]
靶材的绑定结构
[P].
高明
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高明
;
张花蕊
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张花蕊
;
张虎
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张虎
;
陈浩杰
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陈浩杰
.
中国专利
:CN210886199U
,2020-06-30
[6]
一种旋转靶材绑定的装置
[P].
陆映东
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陆映东
;
张倍维
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张倍维
;
梁盈祥
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梁盈祥
;
莫斌
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莫斌
.
中国专利
:CN209256030U
,2019-08-16
[7]
一种绑定旋转靶材以及用于绑定该靶材的密封组件
[P].
施玉良
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盐城法柯特科技有限公司
盐城法柯特科技有限公司
施玉良
;
徐文斌
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机构:
盐城法柯特科技有限公司
盐城法柯特科技有限公司
徐文斌
;
王海琴
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机构:
盐城法柯特科技有限公司
盐城法柯特科技有限公司
王海琴
.
中国专利
:CN223342805U
,2025-09-16
[8]
一种绑定式旋转靶材
[P].
李喜峰
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李喜峰
;
姜姝
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姜姝
;
陈龙龙
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陈龙龙
;
杨祥
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杨祥
;
潘成超
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潘成超
;
谈艳阳
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谈艳阳
.
中国专利
:CN208501086U
,2019-02-15
[9]
一种旋转靶材绑定设备
[P].
刘文杰
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机构:
先导薄膜材料(淄博)有限公司
先导薄膜材料(淄博)有限公司
刘文杰
;
鲁统伟
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先导薄膜材料(淄博)有限公司
先导薄膜材料(淄博)有限公司
鲁统伟
;
余芳
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先导薄膜材料(淄博)有限公司
先导薄膜材料(淄博)有限公司
余芳
;
张文涛
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机构:
先导薄膜材料(淄博)有限公司
先导薄膜材料(淄博)有限公司
张文涛
.
中国专利
:CN221320070U
,2024-07-12
[10]
一种旋转靶材的垂直绑定装置以及绑定方法
[P].
高明
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高明
;
张花蕊
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张花蕊
;
张虎
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张虎
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陈浩杰
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陈浩杰
.
中国专利
:CN110408897A
,2019-11-05
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