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晶圆对准装置及半导体设备
被引：0
申请号：
CN202210462129.9
申请日：
2022-04-28
公开(公告)号：
CN114899137A
公开(公告)日：
2022-08-12
发明(设计)人：
杨星
孙增强
申请人：
申请人地址：
101312 北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-12 | 公开 | 公开 |