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对准装置、半导体晶圆处理装置及对准方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910140453.7
申请日：
2019-02-26
公开(公告)号：
CN110660700A
公开(公告)日：
2020-01-07
发明(设计)人：
渡边启晖
酒井哲也
鬼海大司
申请人：
申请人地址：
日本熊本县熊本市
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2168
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
王瑞朋;胡彬
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190226 |
| 2020-01-07 | 公开 | 公开 |