晶圆对准方法及晶圆对准装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810505557.9

申请日：

2018-05-24

公开(公告)号：

CN108735645A

公开(公告)日：

2018-11-02

发明(设计)人：

张党柱赖政聪古哲安黄志凯叶日铨

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;董琳

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-02	公开	公开
2018-11-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20180524
2020-12-15	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/68 申请公布日:20181102

共 50 条

[1]

晶圆对准臂及晶圆对准装置 [P].

杨轩毅 ;

任瑞 ;

刘普然 .

中国专利 :CN217485421U ,2022-09-23

[2]

晶圆对准方法及对准装置 [P].

田陈陈 ;

司伟 ;

张昊 ;

谭永旭 .

中国专利 :CN115632018A ,2023-01-20

[3]

晶圆对准标记、制作方法、晶圆对准装置及晶圆对准方法 [P].

季明华 .

中国专利 :CN115172331B ,2025-05-27

[4]

晶圆对准装置以及晶圆对准方法 [P].

胡剑翔 .

中国专利 :CN119542225A ,2025-02-28

[5]

晶圆对准装置和晶圆对准方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN120109067A ,2025-06-06

[6]

对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法 [P].

王德进 ;

马东旭 ;

舒贻胜 ;

刘远坤 .

中国专利 :CN116581077B ,2025-10-28

[7]

晶圆对准装置 [P].

朱松 ;

万先进 ;

张怀东 ;

钱宇强 ;

边逸军 .

中国专利 :CN221379327U ,2024-07-19

[8]

晶圆对准装置 [P].

赖宏能 ;

庄峻松 .

中国专利 :CN205376487U ,2016-07-06

[9]

晶圆对准装置及方法、晶圆测试方法 [P].

许强 ;

梁君丽 ;

王柏翔 ;

李芃葳 .

中国专利 :CN114420619B ,2022-04-29

[10]

晶圆对准装置及其对准方法 [P].

禹洪亮 ;

吴火亮 ;

郝振州 .

中国专利 :CN120511227B ,2025-12-26

← 1 2 3 4 5 →