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晶圆对准装置及其对准方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511008980.4
申请日：
2025-07-22
公开(公告)号：
CN120511227B
公开(公告)日：
2025-12-26
发明(设计)人：
禹洪亮
吴火亮
郝振州
申请人：
上海隐冠半导体技术有限公司
申请人地址：
201206 上海市浦东新区自由贸易试验区金海路1000号47号楼1楼
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/67
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
李荟萃
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20250722 |
| 2025-08-19 | 公开 | 公开 |
| 2025-12-26 | 授权 | 授权 |