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晶圆对准装置以及晶圆对准方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311121637.1
申请日：
2023-08-30
公开(公告)号：
CN119542225A
公开(公告)日：
2025-02-28
发明(设计)人：
胡剑翔
申请人：
武汉楚兴技术有限公司
申请人地址：
430040 湖北省武汉市东西湖区径河街网安大道7号
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
冉青彦
法律状态：
公开
国省代码：
湖北省
武汉市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-28 | 公开 | 公开 |
| 2025-03-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20230830 |