超浅结阻值检测方法及膜层阻值检测方法

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专利类型
发明
申请号
CN200710042131.6
申请日
2007-06-18
公开(公告)号
CN101330029A
公开(公告)日
2008-12-24
发明(设计)人
何永根
申请人
申请人地址
201203上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号
H01L2166
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人
李文红
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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[10]
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