膜层应力检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610119365.1

申请日：

2006-12-08

公开(公告)号：

CN101197299A

公开(公告)日：

2008-06-11

发明(设计)人：

何伟明林益世

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-08-06	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-06-11	公开	公开
2020-11-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20061208 授权公告日:20090311 终止日期:20191208
2009-03-11	授权	授权
2011-12-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 专利号:ZL2006101193651 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:共同专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20111121 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101254721622

共 50 条

[1]

超浅结阻值检测方法及膜层阻值检测方法 [P].

何永根 .

中国专利 :CN101330029A ,2008-12-24

[2]

膜层检测方法、装置及膜层检测系统 [P].

安亚斌 ;

张铁轶 ;

權基瑛 ;

闫小宝 ;

李彦生 .

中国专利 :CN107727654B ,2018-02-23

[3]

介质膜层的应力检测方法及应力检测系统 [P].

马振国 .

中国专利 :CN109119351B ,2019-01-01

[4]

膜层厚度检测方法 [P].

王士敏 ;

刘太兴 ;

朱泽力 ;

曾胜祥 ;

李连伟 ;

李海峰 .

中国专利 :CN111102944A ,2020-05-05

[5]

膜层厚度均匀性的检测方法 [P].

董俊 ;

张顾斌 ;

王雷 .

中国专利 :CN113628985A ,2021-11-09

[6]

双应力介质层的制造方法 [P].

张瑜 ;

鲍宇 .

中国专利 :CN118053812A ,2024-05-17

[7]

一种发电玻璃膜层检测装置及发电玻璃膜层检测方法 [P].

李银前 ;

孙庆华 ;

李波 ;

张艳 ;

杨新义 ;

官敏 ;

于涛 ;

常郑 .

中国专利 :CN118730915B ,2024-12-13

[8]

一种发电玻璃膜层检测装置及发电玻璃膜层检测方法 [P].

李银前 ;

孙庆华 ;

李波 ;

张艳 ;

杨新义 ;

官敏 ;

于涛 ;

常郑 .

中国专利 :CN118730915A ,2024-10-01

[9]

栅氧层缺陷检测方法及器件漏电检测方法 [P].

范荣伟 ;

陈宏璘 ;

龙吟 ;

顾晓芳 .

中国专利 :CN104733343B ,2015-06-24

[10]

层间膜的制造方法 [P].

刘怡良 ;

于明非 ;

林旭 ;

陈建勋 .

中国专利 :CN109037055A ,2018-12-18

← 1 2 3 4 5 →