膜层厚度均匀性的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110775123.2

申请日：

2021-07-07

公开(公告)号：

CN113628985A

公开(公告)日：

2021-11-09

发明(设计)人：

董俊张顾斌王雷

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L218249

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

罗雅文

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-09	公开	公开
2021-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20210707

共 50 条

[1]

一种检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法 [P].

李定 ;

李钱陶 ;

熊长新 ;

郝力凯 ;

金天义 .

中国专利 :CN114264240B ,2024-03-22

[2]

一种检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法 [P].

李定 ;

李钱陶 ;

熊长新 ;

郝力凯 ;

金天义 .

中国专利 :CN114264240A ,2022-04-01

[3]

光学膜层厚度均匀性的监测方法 [P].

陈卿峰 ;

万仁文 ;

杜振宇 ;

郑谨绪 ;

郑世璋 ;

杨智宏 ;

郑孟杰 ;

彭中宏 ;

蔡淑芬 ;

吕志宏 .

中国专利 :CN1752713A ,2006-03-29

[4]

胶层厚度均匀性检测设备 [P].

温海涛 ;

史册 ;

王金龙 ;

孙璞 ;

徐晓伟 .

中国专利 :CN118737873A ,2024-10-01

[5]

一种铀层厚度均匀性测算方法及铀层厚度均匀性测量装置 [P].

李彪 ;

邓鹏 ;

昌正科 ;

刘东旭 ;

李宝成 ;

刘素志 ;

吴华剑 ;

黄国良 ;

李志军 ;

靳占刚 ;

王斌 ;

唐云鹏 ;

张霞 ;

李晨丽 ;

苏杨 .

中国专利 :CN119665878A ,2025-03-21

[6]

膜层厚度检测方法 [P].

王士敏 ;

刘太兴 ;

朱泽力 ;

曾胜祥 ;

李连伟 ;

李海峰 .

中国专利 :CN111102944A ,2020-05-05

[7]

在线监测薄膜、镀膜及涂布膜膜层厚度均匀性的装置 [P].

唐能诚 ;

胡建河 .

中国专利 :CN2435740Y ,2001-06-20

[8]

改善层间介质层厚度均匀性的方法 [P].

张磊 ;

王晓日 ;

禹楼飞 ;

高国磊 .

中国专利 :CN115527859A ,2022-12-27

[9]

提高微电铸层厚度均匀性的方法 [P].

王欢 ;

李超波 ;

解婧 .

中国专利 :CN119101961A ,2024-12-10

[10]

优化硅膜厚度均匀性的模具形状 [P].

G·B·库克 ;

P·马宗达 ;

B·苏曼 .

中国专利 :CN103025925A ,2013-04-03

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