在线监测薄膜、镀膜及涂布膜膜层厚度均匀性的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN00224940.5

申请日：

2000-06-02

公开(公告)号：

CN2435740Y

公开(公告)日：

2001-06-20

发明(设计)人：

唐能诚胡建河

申请人：

申请人地址：

410004湖南省长沙市里仁巷2号东门403室

IPC主分类号：

G01N2189

IPC分类号：

B05C1102

代理机构：

湖南省专利服务中心

代理人：

罗建民

法律状态：

专利权的终止未缴年费专利权终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-08-04	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
2001-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

光学膜层厚度均匀性的监测方法 [P].

陈卿峰 ;

万仁文 ;

杜振宇 ;

郑谨绪 ;

郑世璋 ;

杨智宏 ;

郑孟杰 ;

彭中宏 ;

蔡淑芬 ;

吕志宏 .

中国专利 :CN1752713A ,2006-03-29

[2]

膜层厚度均匀性的检测方法 [P].

董俊 ;

张顾斌 ;

王雷 .

中国专利 :CN113628985A ,2021-11-09

[3]

一种铀层厚度均匀性测算方法及铀层厚度均匀性测量装置 [P].

李彪 ;

邓鹏 ;

昌正科 ;

刘东旭 ;

李宝成 ;

刘素志 ;

吴华剑 ;

黄国良 ;

李志军 ;

靳占刚 ;

王斌 ;

唐云鹏 ;

张霞 ;

李晨丽 ;

苏杨 .

中国专利 :CN119665878A ,2025-03-21

[4]

薄膜厚度均匀性的改善装置 [P].

袁益凯 ;

吴俊英 ;

徐斌 ;

袁建 ;

章峻 ;

庄志磊 ;

周燕 ;

刘云辉 .

中国专利 :CN210552545U ,2020-05-19

[5]

一种薄膜厚度及均匀性在线检测装置及方法 [P].

张宇 .

中国专利 :CN117629085A ,2024-03-01

[6]

非均匀膜层产品的镀膜设备 [P].

徐佳霖 ;

龙家勇 ;

李景薇 .

中国专利 :CN208949402U ,2019-06-07

[7]

优化硅膜厚度均匀性的模具形状 [P].

G·B·库克 ;

P·马宗达 ;

B·苏曼 .

中国专利 :CN103025925A ,2013-04-03

[8]

一种检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法 [P].

李定 ;

李钱陶 ;

熊长新 ;

郝力凯 ;

金天义 .

中国专利 :CN114264240B ,2024-03-22

[9]

一种检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法 [P].

李定 ;

李钱陶 ;

熊长新 ;

郝力凯 ;

金天义 .

中国专利 :CN114264240A ,2022-04-01

[10]

溅射薄膜的厚度均匀性修正装置 [P].

张平 ;

周瑞山 ;

谢强 ;

殷志茹 ;

张敏 ;

罗向阳 ;

龚漫莉 ;

叶萍 ;

张青 ;

张铎 ;

王倩 ;

龚国刚 .

中国专利 :CN201212059Y ,2009-03-25

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