空置硅片花篮的翻转装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811524701.X

申请日：

2018-12-13

公开(公告)号：

CN109659264A

公开(公告)日：

2019-04-19

发明(设计)人：

徐平芳

申请人：

申请人地址：

215600 江苏省苏州市张家港市塘桥镇人民中路21号徐平芳

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304

代理人：

包华娟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-19	公开	公开
2021-05-04	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/677 申请公布日:20190419

共 50 条

[1]

硅片花篮倾斜翻转装置 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN204946877U ,2016-01-06

[2]

硅片花篮夹持翻转装置 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN204946870U ,2016-01-06

[3]

硅片花篮的翻转机构 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN208284466U ,2018-12-25

[4]

硅片花篮输送翻转装置 [P].

顾韻 .

中国专利 :CN209981188U ,2020-01-21

[5]

硅片花篮的翻转机构 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN108649010B ,2024-07-16

[6]

硅片花篮的翻转机构 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN108649010A ,2018-10-12

[7]

硅片花篮 [P].

陈宏 ;

徐虎 .

中国专利 :CN206432243U ,2017-08-22

[8]

一种硅片花篮翻转装置 [P].

陈冲 ;

李祥辉 ;

李智 .

中国专利 :CN220873553U ,2024-04-30

[9]

一种硅片花篮翻转装置 [P].

李思泉 ;

陈海国 ;

肖俊琳 ;

钟雄雄 ;

尹小玲 ;

李伟强 ;

郑楷熠 .

中国专利 :CN208433392U ,2019-01-25

[10]

硅片花篮的提升装置 [P].

徐再 .

中国专利 :CN109860096A ,2019-06-07

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