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硅片花篮输送翻转装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920914007.2
申请日：
2019-06-18
公开(公告)号：
CN209981188U
公开(公告)日：
2020-01-21
发明(设计)人：
顾韻
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市滨湖区立业路2号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) 34158
代理人：
宋萍
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-21 | 授权 | 授权 |