一种用于空间等离子体环境模拟的均匀射频等离子体源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911123708.5

申请日：

2019-11-17

公开(公告)号：

CN110856331A

公开(公告)日：

2020-02-28

发明(设计)人：

柴昊贾军伟卢晓勃张明志张书锋郎昊

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区知春路82号院

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

北京善任知识产权代理有限公司 11650

代理人：

金杨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20191117
2020-02-28	公开	公开
2023-01-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H05H 1/46 申请公布日:20200228

共 50 条

[1]

射频等离子体源 [P].

李树瑜 .

中国专利 :CN203492261U ,2014-03-19

[2]

用于等离子体室中的均匀等离子体分布的等离子体源 [P].

金南宪 .

中国专利 :CN101040366A ,2007-09-19

[3]

等离子体源 [P].

河利孝 .

中国专利 :CN1169094A ,1997-12-31

[4]

用于产生均匀等离子体的自适应等离子体源 [P].

金南宪 .

中国专利 :CN100438718C ,2006-11-15

[5]

一种用于空间等离子体环境模拟与研究的脉冲电源系统 [P].

鄂鹏 ;

关键 ;

马勋 ;

李洪涛 ;

邓维军 ;

丁明军 ;

康传会 ;

李松杰 ;

肖金水 ;

赵娟 ;

李立毅 .

中国专利 :CN114531053A ,2022-05-24

[6]

用于等离子体反应器的增强等离子体源 [P].

V·N·托多罗 ;

G·勒雷 ;

M·D·威尔沃斯 ;

L-S·蒋 .

中国专利 :CN105340059A ,2016-02-17

[7]

等离子体源 [P].

酒井滋树 ;

高桥正人 .

中国专利 :CN1269692A ,2000-10-11

[8]

等离子体源 [P].

藤田秀树 ;

糸井骏 .

中国专利 :CN109119314A ,2019-01-01

[9]

等离子体源 [P].

S·克拉斯尼特泽 ;

J·哈格曼恩 .

中国专利 :CN105144338A ,2015-12-09

[10]

等离子体源 [P].

井内裕 ;

谷井正博 .

中国专利 :CN103779155B ,2014-05-07

← 1 2 3 4 5 →