等离子体源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN97110548.0

申请日：

1997-04-17

公开(公告)号：

CN1169094A

公开(公告)日：

1997-12-31

发明(设计)人：

河利孝

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01L21302

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王以平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1997-12-31	公开	公开
1999-07-14	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效

共 50 条

[1]

用于等离子体室中的均匀等离子体分布的等离子体源 [P].

金南宪 .

中国专利 :CN101040366A ,2007-09-19

[2]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06

[3]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN102376559A ,2012-03-14

[4]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

进藤俊彦 ;

冈本晋 ;

樋口公博 .

中国专利 :CN100414672C ,2005-10-05

[5]

等离子体源 [P].

酒井滋树 ;

高桥正人 .

中国专利 :CN1269692A ,2000-10-11

[6]

等离子体源 [P].

藤田秀树 ;

糸井骏 .

中国专利 :CN109119314A ,2019-01-01

[7]

等离子体源 [P].

S·克拉斯尼特泽 ;

J·哈格曼恩 .

中国专利 :CN105144338A ,2015-12-09

[8]

等离子体源 [P].

井内裕 ;

谷井正博 .

中国专利 :CN103779155B ,2014-05-07

[9]

等离子体源 [P].

井内裕 .

中国专利 :CN304546178S ,2018-03-20

[10]

等离子体源 [P].

加里·普劳德富特 ;

克里斯托弗·戴维·乔治 ;

保罗·埃杜拉多·利马 .

中国专利 :CN101490794A ,2009-07-22

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