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上电极组件及半导体工艺设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011280862.6
申请日：
2020-11-16
公开(公告)号：
CN112397370A
公开(公告)日：
2021-02-23
发明(设计)人：
聂淼
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
施敬勃
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20201116 |
| 2021-02-23 | 公开 | 公开 |