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电极组件及半导体工艺设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410389488.5
申请日：
2024-04-01
公开(公告)号：
CN120776281A
公开(公告)日：
2025-10-14
发明(设计)人：
邵湛惟 侯鹏飞 闫志顺 赵福平
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
C23C16/507
IPC分类号：
H01J37/32
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-14 公开 公开
2025-10-31 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/507申请日:20240401
共 50 条
[1]
下电极组件及半导体工艺设备 [P]. 
柳朋亮 ;
申爱科 .
中国专利 :CN112349576B ,2021-02-09
[2]
半导体工艺设备的上电极组件及半导体工艺设备 [P]. 
白玉蕾 .
中国专利 :CN114156208A ,2022-03-08
[3]
上电极组件及半导体工艺设备 [P]. 
聂淼 .
中国专利 :CN112397370A ,2021-02-23
[4]
上电极组件及半导体工艺设备 [P]. 
王家祥 ;
邓雅天 ;
李凯 ;
张鹏 .
中国专利 :CN114203511A ,2022-03-18
[5]
下电极组件及半导体工艺设备 [P]. 
陈兆滨 .
中国专利 :CN117995639A ,2024-05-07
[6]
上电极组件及半导体工艺设备 [P]. 
王家祥 ;
邓雅天 ;
李凯 ;
张鹏 .
中国专利 :CN114203511B ,2024-04-12
[7]
上电极组件及半导体工艺设备 [P]. 
王家祥 .
中国专利 :CN119650392A ,2025-03-18
[8]
电极组件和半导体工艺设备 [P]. 
余江浦 .
中国专利 :CN114695061A ,2022-07-01
[9]
半导体工艺设备及其电极组件 [P]. 
侯鹏飞 .
中国专利 :CN117995637A ,2024-05-07
[10]
下电极组件、半导体工艺设备及工艺方法 [P]. 
孙航 .
中国专利 :CN120833995A ,2025-10-24
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