一种Al掺杂的氧化锌透明导电薄膜的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201010214412.7
申请日
2010-06-30
公开(公告)号
CN102312201B
公开(公告)日
2012-01-11
发明(设计)人
刘学超 陈之战 宋力昕 施尔畏
申请人
申请人地址
200050 上海市长宁区定西路1295号
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
C23C1408
代理机构
上海光华专利事务所 31219
代理人
许亦琳;余明伟
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
铪掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P]. 
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[2]
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王少杰 ;
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[9]
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[10]
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