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半导体设备零件清洗台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201520845215.3
申请日：
2015-10-28
公开(公告)号：
CN205110309U
公开(公告)日：
2016-03-30
发明(设计)人：
李澄盛
申请人：
申请人地址：
518106 广东省深圳市光明新区公明办事处楼村社区楼明路口陈文礼工业园A2栋1层、2层、4层
IPC主分类号：
B08B1300
IPC分类号：
代理机构：
深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300
代理人：
黄威
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-03-30 | 授权 | 授权 |
| 2021-10-19 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 13/00 申请日:20151028 授权公告日:20160330 终止日期:20201028 |