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一种半导体设备零件清洗台

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022218264.8
申请日：
2020-09-30
公开(公告)号：
CN213378155U
公开(公告)日：
2021-06-08
发明(设计)人：
杨志勇 单庆喜 刘芳亮 田飞
申请人：
申请人地址：
225000 江苏省扬州市高新区华钢路8-1号清华大学智能装备园
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
B08B1300 H01L2167 B01D2901 F24H120 F24H920 F26B2100
代理机构：
南京常青藤知识产权代理有限公司 32286
代理人：
于薇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-06-08 授权 授权
共 50 条
[1]
半导体设备零件清洗台 [P]. 
李澄盛 .
中国专利 :CN205110309U ,2016-03-30
[2]
一种半导体设备零件清洗台 [P]. 
陆灵伶 .
中国专利 :CN220942106U ,2024-05-14
[3]
一种半导体设备零件清洗台 [P]. 
周夏 ;
诸星辰 .
中国专利 :CN223543600U ,2025-11-14
[4]
一种具有烘干功能的半导体设备零件清洗台 [P]. 
王灿 .
中国专利 :CN221581321U ,2024-08-23
[5]
一种半导体零件清洗台 [P]. 
周银龙 ;
刘文超 .
中国专利 :CN222197955U ,2024-12-20
[6]
一种半导体零件清洗装置 [P]. 
张跃宏 .
中国专利 :CN207381373U ,2018-05-18
[7]
一种半导体零件清洗装置 [P]. 
张涛 ;
曲海燕 ;
刘泽华 .
中国专利 :CN222985117U ,2025-06-17
[8]
半导体设备零件承载台车 [P]. 
李澄盛 .
中国专利 :CN205122553U ,2016-03-30
[9]
半导体设备零件承载台车 [P]. 
李澄盛 .
中国专利 :CN205113376U ,2016-03-30
[10]
半导体设备零件承载台车 [P]. 
李澄盛 .
中国专利 :CN205122544U ,2016-03-30
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