掩膜板及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710911168.1

申请日：

2017-09-29

公开(公告)号：

CN107675127A

公开(公告)日：

2018-02-09

发明(设计)人：

朱海彬王伟杰

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424 H01L5156

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

赵天月

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20170929
2019-08-30	授权	授权
2018-02-09	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜板及其制作方法、掩膜板组件 [P].

张蔡星 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN120519804A ,2025-08-22

[2]

掩膜板及其制作方法、掩膜板组件 [P].

张蔡星 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN120464965A ,2025-08-12

[3]

虚拟掩膜板、掩膜板及其制作方法 [P].

刘鹏 ;

李付强 ;

冯京 ;

王志冲 ;

栾兴龙 .

中国专利 :CN109814328B ,2019-05-28

[4]

掩膜板及其制作方法 [P].

胡小强 ;

秦芹 ;

王亚 .

中国专利 :CN108611597A ,2018-10-02

[5]

掩膜板及其制作方法 [P].

陈秉宏 .

中国专利 :CN111235523A ,2020-06-05

[6]

掩膜板及其制作方法、掩膜组件 [P].

林治明 ;

王震 .

中国专利 :CN106086785B ,2016-11-09

[7]

掩膜板及其制作方法 [P].

周扬川 ;

柯贤军 ;

吴俊雄 ;

王浩锐 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN107994136A ,2018-05-04

[8]

掩膜板及其制作方法 [P].

龚建国 ;

王衣可 ;

杨颖 ;

冉应刚 ;

吴俊雄 ;

柯贤军 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN108149190A ,2018-06-12

[9]

掩膜板及其制作方法 [P].

潘晟恺 .

中国专利 :CN104451538A ,2015-03-25

[10]

掩膜板及其制作方法 [P].

姜亮 ;

李金川 .

中国专利 :CN107779817A ,2018-03-09

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