一种半导体材料加工封装装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202120936069.0
申请日
2021-05-06
公开(公告)号
CN214753652U
公开(公告)日
2021-11-16
发明(设计)人
张敏
申请人
申请人地址
200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区富特北路211号302部位368室
IPC主分类号
H01L2156
IPC分类号
代理机构
重庆创新专利商标代理有限公司 50125
代理人
李智祥
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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