光学设备和使用所述光学设备的光刻设备

被引：0

申请号：

CN202180022850.X

申请日：

2021-03-16

公开(公告)号：

CN115335774A

公开(公告)日：

2022-11-11

发明(设计)人：

乔·特兰乔威廉·皮尔斯·查宾瑞恩·理查德·韦斯特弗杰拉德·W·麦克杜姆爱德华·霍顿

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B702

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

毕杨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-11	公开	公开
2022-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20210316

共 50 条

[1]

光学设备 [P].

D·德蒙西 ;

J·德布鲁杰克尔 .

:CN118541647A ,2024-08-23

[2]

光学设备及包括所述光学设备的装置 [P].

朱卡-塔帕尼·马金宁 .

中国专利 :CN116261858A8 ,2024-05-31

[3]

光学设备及包括所述光学设备的装置 [P].

朱卡-塔帕尼·马金宁 .

中国专利 :CN116261858B ,2025-10-24

[4]

光学设备 [P].

柿沼彰 ;

米田慧介 ;

加藤文生 .

中国专利 :CN102893619A ,2013-01-23

[5]

光学设备 [P].

井出昌史 ;

野崎孝明 ;

依田薰 ;

阿部洋辅 .

中国专利 :CN103562780B ,2014-02-05

[6]

光学设备 [P].

木矢村公介 ;

安田悠 ;

青岛力 .

中国专利 :CN101493565A ,2009-07-29

[7]

光学设备 [P].

W·D·霍克 .

中国专利 :CN114764025A ,2022-07-19

[8]

光学设备 [P].

藤原大辅 ;

大仲智也 .

中国专利 :CN111812917A ,2020-10-23

[9]

光学设备和光学设备制造方法 [P].

清田真人 .

中国专利 :CN101105568B ,2008-01-16

[10]

光学设备 [P].

克里尚·拉姆多 .

中国专利 :CN114945309A ,2022-08-26

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